小说620

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第100节（第3页）

郑河重重冷哼，审度计海的目光如刀片般，似乎对计海的才能产生了?怀疑：“那些科研成果?真是?你的？”

计海连连点头：“当然都是?我的！郑总，您说我一个?搞科研的，怎么?做得来内应这种事？”

如果?不?是?科研人员大多非长袖善舞，郑河早踹开计海了?。

“虽然你搜来的消息都没用，不?过这也说明蓝河科技最近确实处境艰难。”郑河脸色缓和了?些，冷笑?着说：“蓝河科技拉不?到投资，革芯项目没人看?好，陈惊璆居然不?想办法?解决迫在眉睫的资金问题，而是?跑去各个?研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”

“哈哈哈哈……”郑河摇头，上下摇晃着食指嘲讽：“蠢！天真！果?然还是?太年轻！技术是?核心没错，但这么?做就是?缘木求鱼！”

攻破核心技术哪有?那么?容易？

那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都不?是?一朝一夕的事！

陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这个?联合技术链的办法?？

单说那个?光刻机双工作台的核心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去了?还没出结果?。

技术攻破首要是?资金，没有?资金学人开什么?公司？做什么?技术开发？

凭那么?点天真热血的冲动想法?而忽略了?脚下不?牢靠的基石，太蠢了?。

郑河如是?冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。

陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。

“陈惊璆的事以后不?用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。

他抬头观看?这座灯火通明的城市——

加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。

陈天鹤此行?的目的。

***

光源系统是?光刻机制造的核心，是?晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相?关。

光源系统主要三?大单元是?光的产生、收集和均一化，初代?光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代?、第五代?的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行?。

光是?雕刻的工具，由激光器产生，涉及三?项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。

光刻分辨率有?一道计算公式，照公式调整影响因?数从而提高光刻分辨率，这方面难度不?大，但是?受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时?达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。

套刻精度与光刻分辨率相?关，直接受其影响。

至于产能，则与光源系统的稳定相?关。

以上是?对激光器的要求，相?对整个?光源系统的技术要求不?算高，系统工程程序中最难的步骤是?光的收集。

收集难度大，转化效率也低。

雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下进?行?反射，不?能被折射，因?为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几?次反射，最终剩下的光线不?到2%！”

围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但听?到这数字还是?低得让他们心疼。

光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电三?万度。

光线利用率不?到2%已经是?优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就是?反射镜的精度。

“精度必须以皮秒来计算。”

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