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051 许老当场拍板五万亩商用土地（第2页）

这是全世界从未出现过的高科技产品，

比起荷国阿斯麦生产的5nuv光刻机，

至少要先进三个档次以！

可说到底，

所有光刻机基本原理都是一样的，

就是通过一定波长的光源，

把设计好的电路图绘制到空白晶片。

想要研发出euv光刻机，

最关键的是研发出这三个模块：

光源模块！

镜头模块！

双工件台模块！

眼下研发这个三个模块的技术已经都有了，

只需要逐项研发即可。

叶龙并没有从光源模块开始，

而是先选择了双工件台模块，

原因很简单，

双工件台机械结构复杂，

面的零件超过一万个，

而且都是非标准零件，

加工起来难度比较大，

耗费时间自然长一些，

所以叶龙决定先把双工件台图纸设计好，

在工人加工的时间里面，

叶龙再研发光源模块和镜头模块，

这样就能最有效地利用时间，

尽快把euv光刻机研发出来。

一个半小时过去，

叶龙右手终于离开鼠标，

看着屏幕面的完整设计方案，

满意地点点头，

不由得站起来伸了一个懒腰。

“双工件台设计图纸大功告成，可以交给操作工去加工了。”

拿起电话，

叶龙准备让王爱国过来，

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