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最后,陈一权甚至感觉,这小子特么的简直是温良恭谦让的代名词。
太谦虚了!
谦虚的过分了!
这哪里是提前学过大化体系?!
考察的知识点,陈一权并没有脱离大学本科的范畴。
但卿云对这些知识点理解的深度,陈一权感觉甚至完全碾压了他现在手上的最得意的弟子沈俊。
甚至……
甚至他感觉,卿云有坐下来和他坐而论道的资格。
且,其很多学术上的观点和他不谋而合。
这就让陈一权无奈了,只能在省领导们、华国首富夫妇、蜀大校领导的见证下,脸上的核桃纹都笑开了的收下这个居心不良、明摆着来蹭名声的弟子。
不过让他更没想到的是,师是上午拜的,拜师宴是中午吃的,下午特么的就被这逆徒拖到嘉州来了。
而此刻卿云表现出来的潜质,让他只想骂人。
不务正业!简直就是不务正业!
做什么企业!
跟着老子做科研,保你娃娃40岁就封院士!
不过想到这里,陈一权自己都只能苦笑摇头。
特么的,别人不需要……
那边努力维持双眼‘清澈’的云帝点了点头,也没有纠结于张惠国看似有些离谱的回答。
他知道答案。
在当前这个时点,放眼全球,有一个算一个,在这个领域他可以说各位都是渣渣。
三氯氢硅和四氯化硅氢还原反应都是吸热反应,因此升高温度使平衡向吸热一方移动,有利于硅的沉积,也会使硅的结晶性能更好。
但实际生产中反应温度也不能太高,这是因为硅和其它半导体材料的固相沉积一样,存在一个最佳温度。
一旦超过这个温度,随着温度的升高,沉积速度反而下降同时,杂质B、P化合物,随着温度的增高,其还原量也将加大,这将降低多晶硅的质量。
产量、良品率20年内最优解的温度,其实是1137°。
而且他还知道为什么张惠国和汉斯猫的工艺是控制在1100°。
他毕竟是个重生者,心里面其实透亮的。
之所以还原炉的遮热罩材料是石英玻璃,是因为老外试验出来的多晶硅还原炉的工作理想温度范围在1100°C左右。
而随着工艺的提升和纯度的要求,这个最优温度是在慢慢向上走的。
在改良西门子法第一代当时的工艺条件下,也就是上世纪60年代左右的时候,1100°高温下硅和氯化氢的反应生成多晶硅的速率较高。
而当初可用的材料里,石英玻璃刚好能够达到这个参数要求,且能够满足耐腐蚀性。
于是才是石英玻璃,于是才是1100°。
张惠国是完全复刻的第一代改良西门子法,期间有改动,但只是小改动,所以这个温度是适合的。
这就是‘其所以然’。
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